АО «ВНИИХТ» обладает рядом уникальных установок, производящих особочистые вещества для нужд микроэлектроники и солнечной энергетики:

• газовый стенд получения тетрафторида кремния чистотой 99,99%; производительность до 1кг/мес.
• газовый стенд получения моногермана, чистотой 99,999% производительность 2-3 кг/сут;
• установки фторирования для получения фторидов редких и редкоземельных металлов.