Изготовление особо чистых веществ - НИИГРАФИТ
Услуги
АО «ВНИИХТ» обладает рядом уникальных установок, производящих особочистые вещества для нужд микроэлектроники и солнечной энергетики:
  • газовый стенд получения тетрафторида кремния чистотой 99,99%; производительность до 1кг/мес.
  • газовый стенд получения моногермана, чистотой 99,999% производительность 2-3 кг/сут;
  • установки фторирования для получения фторидов редких и редкоземельных металлов.